洁净室尤其电子工业用的洁净室由于室内装修材料以及生产用的原材料（各种气体、溶剂等）和生产过程排放的废气（含酸、含碱、含有机等化学污染物）等都会向洁净室空气中散发大量的化学物质，不仅影响洁净室内的空气品质，也会污染室外大气。
      因此，在设计、建造和使用洁净室时要重视和处理好工艺设备的局部排风和废气的治理。不仅工艺设备本身要加强密封，而且，还要加强通风，提高排风效果，作好气流组织，使洁净室内的空气品质得以改善。